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Frequency-comb-referenced multiwavelength interferometry for high-precision and high-speed 3D measurement in heterogeneous semiconductor packaging
Jun Hyung Park, Dae Hee Kim, Huy Hoang Chu, Ji Won Hahm, Guseon Kang, Dongil Lee, Seyong Song, Mingu Kang, Seung-Woo Kim and Young-Jin Kim Nanophotonics 14(10) 1563 (2025) https://doi.org/10.1515/nanoph-2024-0578
A review of the dual-wavelength technique for phase imaging and 3D topography
Vivek Badami and Peter de Groot Series in Optics and Optoelectronics, Handbook of Optical Dimensional Metrology 20135538 157 (2013) https://doi.org/10.1201/b13855-7
Measurement of air refractive index fluctuation based on interferometry with two different reference cavity lengths